下载一种纳米管内外膜气象炉蒸镀设备的技术资料

文档序号:26496250

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本发明公开了一种纳米管内外膜气象炉蒸镀设备,包括上炉胆、中炉胆、下炉胆和底炉胆,上炉胆的内侧设置有上温区,中炉胆的内侧设置有中温区,下炉胆的内侧设置有下温区,底炉胆的内侧设置有底温区。本发明纳米管内外膜气象炉蒸镀设备,气象所用的药水从进料进...
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