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一种缺陷定位方法，其包含：接受一测试结构，该测试结构包括至少一导体及一光电活性物质，该光电活性物质被设置成可提供一有关于该测试结构的至少一或多个导体的电子现况的指示；提供一电信号至该导体；及将该测试结构形成影像，用以 ...
该专利属于应用材料以色列公司、应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司、应用材料股份有限公司授权不得商用。

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