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本发明提供了一种用于PERC电池的基片、PERC电池及其制备方法。所述基片包括具有PN结的硅片层，以及从具有PN结的硅片层背面向外依次设置的背面钝化层和保护层；背面钝化层和保护层上开设有多个凹槽，凹槽贯通背面钝化层和保护层；凹槽沿深度方向包...该专利属于盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。