下载一种光诱导抗氧阻聚飞秒激光光刻胶及制备方法的技术资料

文档序号:26477841

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光诱导抗氧阻聚飞秒激光光刻胶及制备方法,该光刻胶包括改性富勒烯C60、活性单体、飞秒激光引发剂及溶剂。本发明在飞秒激光光刻胶体系中引入表面具有巯基的改性富勒烯C60,改性富勒烯C60可以在飞秒激光的诱导下,将飞秒激光曝光区光...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。