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光学元件及投影装置制造方法及图纸
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文档序号:26477828
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一种光学元件,配置于匀光元件与汇聚透镜之间。光学元件具有至少两个区。至少两个区包括第一区与第二区,其中第一区与第二区分别将透过第一区所形成的第一光束和透过第二区所形成的第二光束的聚焦位置调整至大体上相同的位置。第一光束与第二光束具有不同波长...
该专利属于中强光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中强光电股份有限公司授权不得商用。
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