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本发明公开了一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均...
该专利属于常州市奥普泰克光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市奥普泰克光电科技有限公司授权不得商用。

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