下载用于监测显微镜的聚焦状态的方法和装置的技术资料

文档序号:26477744

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为了监测显微镜(1)的聚焦状态,将辅助光束(13)耦合输入到显微镜(1)中,以使得所述辅助光束在下述平面(20)上相对于面法线以倾斜角度延伸,所述平面在显微镜(1)的主成像区域(17)外部由在显微镜(1)的物平面(5)中延伸的直线(19)和...
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