下载一种基于悬浮二维材料及异质层悬挂质量块的加速度传感器的技术资料

文档序号:26477206

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本发明公开了一种基于悬浮二维材料及异质层悬挂质量块的加速度传感器,其特征在于,悬浮二维材料及异质层悬挂质量块作为弹簧‑质量块系统及跨导器结构使用;悬浮二维材料及异质层的所用材料主要包括石墨烯、六方氮化硼、二硫化钼、二硒化钨、二硒化钼、二硫化...
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