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一种光学元件损伤的在线监测方法及系统技术方案
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文档序号:26476981
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本发明公开了一种光学元件损伤的在线监测方法及系统,该方法包括:采集光学元件表面预设位置被照射时产生的超声信号;将超声信号转换为数字信号;根据数字信号、超声信号在光学元件中的传播速度、损伤直径、光学元件表面预设位置以及超声信号的出射位置计算损...
该专利属于中国科学院电工研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。
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