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本发明公开了超精密气浮止推轴承局部气膜动静态压力检测装置，包括检测装置和检测方法，检测装置包括高精度测量机床、加载模块、测量模块、供气模块和待测止推圆盘，高精度测量机床包括三坐标定位机床、超精密气体静压轴承和光学大理石平台，加载模块包括连接...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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