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一种柔性电容式接近-触觉双模传感阵列及制备方法技术
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文档序号:26476111
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本发明公开了一种柔性电容式接近‑触觉双模传感阵列及制备方法,包括,制备电极层、制备介电层、传感器阵列封装。通过制备得到包括介电层、上电极层和下电极层以及电极层外侧的透明柔性基底,上电极层和下电极层的线性阵列每列包含多个电极单元,上电极层和下...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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