下载一种基于显微干涉的微球表面形貌大视场测量方法的技术资料

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本发明公开了一种基于显微干涉的微球表面形貌大视场测量方法,在通过显微干涉系统对微球表面形貌进行测试时,对于显微镜成像视场内清晰成像区域,直接通过四步移相法并解包裹得到其表面形貌分布;对于显微镜成像视场内离焦的模糊成像区域,首先计算出CCD面...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。

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