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本发明提供一种硅单晶四爪等力矩在线抓取装置，包括竖直穿入所述真空炉室内的单晶体承重外硬轴，所述单晶体承重外硬轴的底部安装有用于夹持单晶体的小肩部单晶体卡爪，且所述单晶体承重外硬轴的顶部具有驱动所述单晶体卡爪夹紧所述单晶体或松开所述单晶体的卡...
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