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本发明涉及一种FSW搅拌头上实现高耐磨薄膜热电偶制作的复合涂层方法,包括:对基体进行预处理;在所述基体上沉积纯硅底层;在所述纯硅底层上沉积绝缘隔热层;在所述绝缘隔热层上沉积薄膜热电偶,使所述薄膜热电偶与所述基体绝缘;在所述绝缘隔热层和所述薄...该专利属于航天工程装备(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过航天工程装备(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种FSW搅拌头上实现高耐磨薄膜热电偶制作的复合涂层方法,包括:对基体进行预处理;在所述基体上沉积纯硅底层;在所述纯硅底层上沉积绝缘隔热层;在所述绝缘隔热层上沉积薄膜热电偶,使所述薄膜热电偶与所述基体绝缘;在所述绝缘隔热层和所述薄...