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本发明公开了一种纳米硅粉生产装置，涉及粉末生产装置技术领域，其技术方案要点包括等离子体非转移弧炬组、反应釜以及收集器；所述等离子体非转移弧炬组用于加热蒸发硅粉原料；所述反应釜用于将加热蒸发的硅粉原料冷却成纳米硅粉；所述收集器用于收集纳米硅粉...
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