下载基于光阑和电动平台的可变换空间光调制器组件的技术资料

文档序号:26461690

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本专利公开了一种基于光阑和电动平台的可变换空间光调制器组件,包括视场光阑、机械编码板、高精度电动位移台。将机械编码板固定在高精度电动平移台上,视场光阑为两片式设计,在编码板前方和后方各放置一片,并固定在系统中。机械编码板尺寸适当大于视场光阑...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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