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一种可用于呼出气体检测的传感器制造技术
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下载一种可用于呼出气体检测的传感器的技术资料
文档序号:26461143
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本发明公开了一种可用于呼出气体检测的传感器,包括外壳,所述腔体内部设置有吸气装置和电路板,所述吸气装置的吸气口从外壳上的进气口将待检测气体吸入到腔体,所述传感器器件包括硅晶片,所述硅晶片的电极上涂覆有金属氧化物材料层,所述金属氧化物材料层为...
该专利属于上海摇橹仪器设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海摇橹仪器设备有限公司授权不得商用。
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