温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种镀膜机用基片加热装置，包括用于进行镀膜工作的主体、用于安装内部结构的活动座结构、用于辅助活动座结构进行转动的辅助转动结构以及用于对基片进行加热工作的加热结构，所述主体的一侧设置有安装板，所述活动座结构包括支撑柱和转动座，...
该专利属于东莞市伟信真空服务有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市伟信真空服务有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。