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本公开涉及一种面扫探头系统和光谱仪,面扫探头系统包括:第一壳体,设置有导光孔,以供激发光束照入到第一壳体中,激发光束来自光谱仪的拉曼检测系统的通光孔;面扫光学模块,安装于第一壳体并且包括反射元件;MEMS模块,固定于第一壳体,并且包括MEM...该专利属于深圳前海达闼云端智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳前海达闼云端智能科技有限公司授权不得商用。
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本公开涉及一种面扫探头系统和光谱仪,面扫探头系统包括:第一壳体,设置有导光孔,以供激发光束照入到第一壳体中,激发光束来自光谱仪的拉曼检测系统的通光孔;面扫光学模块,安装于第一壳体并且包括反射元件;MEMS模块,固定于第一壳体,并且包括MEM...