温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种电容器及其制作方法,该电容器(100)包括:衬底(110);第一沟槽(10),设置于该衬底(110),并自衬底(110)的上表面向下进入衬底(110);叠层结构(120),设置在衬底(110)上方和第一沟槽(10)内,包括m层电介质层和...该专利属于深圳市汇顶科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市汇顶科技股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种电容器及其制作方法,该电容器(100)包括:衬底(110);第一沟槽(10),设置于该衬底(110),并自衬底(110)的上表面向下进入衬底(110);叠层结构(120),设置在衬底(110)上方和第一沟槽(10)内,包括m层电介质层和...