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在通过成膜室内的精退火后的取向性电磁钢板的表面上在减压条件下进行成膜。在上述成膜室的入侧配置的多级的入侧减压室随着接近上述成膜室而内压接近上述成膜室的内压。在上述成膜室的出侧配置的多级的出侧减压室随着远离上述成膜室而内压接近大气压。上述入侧...
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