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用于检测化学物质的微传感器及相关的制造方法技术
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下载用于检测化学物质的微传感器及相关的制造方法的技术资料
文档序号:26428600
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本发明涉及用于检测流体中的离子的微传感器(100),该微传感器(100)包括:场效应晶体管(5),该场效应晶体管(5)具有源极(51)、漏极(52)、在源极(51)与漏极(52)之间的有源区(54)以及被设置在有源区(54)上方的栅极(53...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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