下载一种存储器件的制造方法及其电容器的技术资料

文档序号:26423111

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本发明公开了一种存储器件的制造方法,包括:提供半导体衬底;形成第一互连结构,所述第一互连结构包括电容器导电柱、位线导电柱以及导电柱之间的第一介质层;形成第一位线导电插塞,所述第一位线导电插塞包括与所述位线导电柱电连接的金属导电柱以及金属导电...
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