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一种抗辐照的共岛LPNP和SPNP版图结构制造技术
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文档序号:26423089
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一种抗辐照的共岛LPNP和SPNP版图结构,包括LPNP的基极、LPNP的集电极、LPNP的发射极、SPNP的发射极、基区复合墙、衬底、外延层沟道电阻和埋层;衬底的表面覆盖有外延层,外延层和衬底之间设置有埋层;外延层上排布有LPNP的基极、...
该专利属于西安微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安微电子技术研究所授权不得商用。
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