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本发明的提供的全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法，长边条和短边条首尾依次铰接组成一个平行四边形的边框，平行四边形的边框的锐角大小可调，调整范围为60°到90°；每个长边条的内侧面纵向等间距的设置有固定柱子，相邻固定柱子的间距大于硅片的厚度，...
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