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本发明公开了一种深紫外光频梳产生装置，该深紫外光频梳产生装置包括沿光路依次设置的基频光梳光源1、2倍频晶体2、色散器件3、4倍频棱镜耦合器件4、色散补偿器5和缩束器6。本发明实施例提供的装置，可以将光频梳波段通过级联倍频方式扩展至深紫外波段...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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