下载双栅结构间接飞行时间器件、主动光电探测组件和光电系统的技术资料

文档序号:26416285

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本发明涉及一种双栅结构间接飞行时间器件、主动光电探测组件和光电系统。双栅结构间接飞行时间器件包括一个或多个功能单元和衬底电极。每个功能单元包括衬底、光吸收层、两个探测电极、栅极氧化层、设置在栅极氧化层上的两个栅电极。光吸收层具有P型掺杂区、...
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