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本发明提供了一种MEMS流量传感芯片及其制造方法和流量传感器，涉及流量测试领域，为解决现有热式质量流量传感芯片容易受到气体组分变化的影响，导致此类流量传感器应用受到限制的问题而设计。该MEMS流量传感芯片包括基体和设置于基体的多个传感元件，...
该专利属于矽翔微机电(杭州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽翔微机电(杭州)有限公司授权不得商用。

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