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本发明公开了一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩，包括保温罩，所述保温罩底部的中间设置有外导流罩，所述外导流罩的内侧设置有内导流罩，所述外导流罩外侧的顶部设置有封气环，所述保温罩顶部的一端设置有观察口，所述观察口内部顶部的一侧和底部的一侧设...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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