下载一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法的技术资料

文档序号:26409076

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本发明公开了一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法包括铜铟镓涂层剥离、酸洗、清洗、表面粗化、冲洗及包装等步骤。本发明专利通过提供一种铜铟镓靶材背衬管回收利用的方法,解决了通常残靶只能进行报废处理的方式,该方法依靠稀硝酸与铜铟镓涂层反应而不与不锈钢...
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