下载一种具有芯管定位夹具的专用OVD烧结石英炉的技术资料

文档序号:26406372

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本发明公开了石英炉技术领域的一种具有芯管定位夹具的专用OVD烧结石英炉,包括炉体、加热机构、调节机构、夹紧机构、散热机构和控制装置,所述加热机构位于所述炉体的内腔,所述调节机构滑动连接在所述加热机构的内腔,所述夹紧机构滑动连接在所述调节机构...
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