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本实用新型公开了一种硝酸尾气吸收系统,硝酸尾气与洗涤塔的进气口连通;所述洗涤塔顶部设有喷淋装置,洗涤塔底部设有硝酸回收釜,硝酸回收釜的出料口与离心泵的进液口通过输液管道连通,所述输液管道上还设有实时浓度检测装置;离心泵的出液口与三通一端通过...该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种硝酸尾气吸收系统,硝酸尾气与洗涤塔的进气口连通;所述洗涤塔顶部设有喷淋装置,洗涤塔底部设有硝酸回收釜,硝酸回收釜的出料口与离心泵的进液口通过输液管道连通,所述输液管道上还设有实时浓度检测装置;离心泵的出液口与三通一端通过...