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本发明公开了一种全自动PL检测装置，涉及PL检测技术领域。包括上料机构、硅片传输轨道、检测机构、不良片剔除机构、不良片传输机构、合格片下料机构等部分组成。采用工件篮作为承载硅片的载具，避免了人手对硅片造成的脏污和硅片之间摩擦导致的产品缺陷。...
该专利属于常州科瑞尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州科瑞尔科技有限公司授权不得商用。

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