温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种压电微机械超声换能器背衬结构，包括相连的填充部和倾斜部，填充部设置于压电微机械超声换能器的背腔中，倾斜部远离填充部的一侧具有倾斜面，倾斜面与压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间具有夹角。本发明的压电微机械超声换能器背衬结...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。