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硅基边缘耦合器、硅光子器件及硅光子平台中的光电模块制造技术
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文档序号:26391453
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本实用新型涉及硅基边缘耦合器、硅光子器件及硅光子平台中的光电模块。该硅基边缘耦合器用于将光纤与波导耦合,包括:波导,具有部分悬挂的悬臂构件,悬臂构件的锚定端耦合到硅光子管芯,自由端终止于边缘区域附近;机械止动件,形成在边缘区域,在悬臂构件的...
该专利属于颖飞公司所有,仅供学习研究参考,未经过颖飞公司授权不得商用。
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