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本申请提供了一种基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置及方法,装置包括放电腔体、进气口、出气口、混充模块、抽真空模块、电极和高压交流电源;放电腔体为立方体结构,放电腔体上设置有进气口和出气口;进气口与混充模块连接,出气口与抽真空模块连接;混...该专利属于云南电网有限责任公司电力科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过云南电网有限责任公司电力科学研究院授权不得商用。
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本申请提供了一种基于混合气体的大面积冷等离子体发生装置及方法,装置包括放电腔体、进气口、出气口、混充模块、抽真空模块、电极和高压交流电源;放电腔体为立方体结构,放电腔体上设置有进气口和出气口;进气口与混充模块连接,出气口与抽真空模块连接;混...