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一种半导体扩散长度测量仪制造技术
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下载一种半导体扩散长度测量仪的技术资料
文档序号:2638451
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一种半导体护散长度测量仪,其特征是光源由恒流脉冲发生器和红外发光二极管构成,用多个干涉滤光片将波长为8500*~10500*的光谱分离成不同中心波长的单色光,采用Y型光缆将光能耦合到测试样品正面和PIN光电二极管,设有光谱响应度补偿电路,所...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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