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一种具有周期可调屈曲结构的柔性半导体薄膜及制备方法技术
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下载一种具有周期可调屈曲结构的柔性半导体薄膜及制备方法的技术资料
文档序号:26382296
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本发明提供一种柔性屈曲结构周期可调的半导体薄膜及其制备方法,属于纳米薄膜制备技术领域。本发明通过在半导体薄膜上构筑周期性阵列排布的孔洞微结构,实现了在不改变预拉伸量和薄膜属性的前提下调控半导体薄膜屈曲结构的周期,使得能够适用于多种环境和条件...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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