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本发明实施例公开了一种阵列基板母板和检测刻蚀残留的方法。该阵列基板母板包括至少一个阵列基板和至少一个测试元件，测试元件用于监控阵列基板的被监控层的刻蚀残留；测试元件包括：测试走线层，测试走线层与阵列基板的被监控层同层设置；测试走线层包括相邻...
该专利属于合肥维信诺科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥维信诺科技有限公司授权不得商用。

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