下载一种基于键合工艺制备SiC IGBT的方法及SiC IGBT的技术资料

文档序号:26381947

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本发明提供一种基于键合工艺制备SiC IGBT的方法及SiC IGBT,在SiC衬底表面依次形成N‑过渡层、N‑漂移层、N+缓冲层和P+集电层;采用键合工艺对所述P+集电层和键合基片进行键合,之后去除SiC衬底和N‑过渡层,或先去除SiC衬...
该专利属于全球能源互联网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网福建省电力有限公司;国网福建省电力有限公司厦门供电公司所有,仅供学习研究参考,未经过全球能源互联网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网福建省电力有限公司;国网福建省电力有限公司厦门供电公司授权不得商用。

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