下载一种基于图形化工艺制备SiC IGBT的方法及SiC IGBT的技术资料

文档序号:26381945

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本发明提供一种基于图形化工艺制备SiC IGBT的方法及SiC IGBT,在SiC衬底表面依次形成N‑漂移层、N+缓冲层和P+集电层,并对选取的键合基片进行图形化处理;采用键合工艺对所述P+集电层和处理后的键合基片进行键合,之后去除SiC衬...
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