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一种能在与单独测量器件电学特性所花费的时间大体相同的时间内同时测量器件电学特性并精确检验器件外观的自动操纵装置和一种利用该自动操纵装置的器件测量方法。在该操纵装置内组合一种紧凑而高精度的器件外观自动检验装置，后者包括一个具有多个亮度可控的发...
该专利属于株式会社爱德万测试所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱德万测试授权不得商用。

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