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一种基于石墨烯的流速传感器光学芯片及其应用制造技术
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文档序号:26373336
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本发明公开了一种基于石墨烯的流速传感器光学芯片及其应用。该光学芯片是在直角棱镜的底边一面粘贴有依次为石英玻璃/石墨烯膜/微流体通道介质层的多层膜耦合结构,所述微流体通道介质层在与石墨烯膜紧贴的一面具有微流体通道。通过该光学芯片实现了对流体流...
该专利属于山东理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东理工大学授权不得商用。
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