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本申请公开了一种扫描装置,扫描装置包括:旋转电机;曲柄滑块机构,曲柄滑块机构包括曲柄、连杆和滑块,曲柄的一端固定连接旋转电机的输出轴,另一端转动连接于连杆的一端,连杆的另一端转动连接于滑块;滑块上设置有扫描探头;检测台,旋转电机固定于检测台...该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。
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本申请公开了一种扫描装置,扫描装置包括:旋转电机;曲柄滑块机构,曲柄滑块机构包括曲柄、连杆和滑块,曲柄的一端固定连接旋转电机的输出轴,另一端转动连接于连杆的一端,连杆的另一端转动连接于滑块;滑块上设置有扫描探头;检测台,旋转电机固定于检测台...