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一种高Q高FoM的金属介质辅助GMR的折射率传感芯片制造技术
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下载一种高Q高FoM的金属介质辅助GMR的折射率传感芯片的技术资料
文档序号:26372754
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本发明公开了一种高Q高FoM的金属介质辅助GMR的折射率传感芯片,所述的折射率传感芯片分为四层结构,第一层为底层的透明介质基底,第二层为金属薄膜层,第三层介质光栅层,第四层为高折射率介质光栅层;其中,介质光栅层和高折射率介质光栅层为周期性光...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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