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本发明涉及一种用于检测两个能够相对彼此沿着至少一个测量方向移动的物体的相对位置的光学位置测量装置，物体与第一光栅和与第二光栅连接。在此，在一个光栅处由光源发射的光照射束被分束成至少两个子射束；子射束在扫描光路的后续的走向中受到不同的偏振光学...
该专利属于约翰内斯.海德汉博士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰内斯.海德汉博士有限公司授权不得商用。

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