下载一种工件的处理装置的技术资料

文档序号:26366200

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本发明公开了一种工件的处理装置,包括至少一个容器及若干个密封部件,容器的壁上设有密封通道;若干个密封部件间隔设在密封通道内;密封部件和容器中的任一个受驱动机构的驱动穿过任一密封通道,在密封部件或容器的移动方向上,任一相邻两个密封部件之间的距...
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