下载一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法的技术资料

文档序号:26366051

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本发明提供了一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法,上述方法包括:预处理步骤:提供衬底,将固态碳化硼颗粒均匀放置在上述衬底周围,并放入微波等离子体反应室中;形核步骤:采用第一工艺参数组合产生等离子体轰击上述固态碳化硼颗粒,以使金刚石...
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