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一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法技术
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下载一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法的技术资料
文档序号:26366051
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本发明提供了一种通过微波等离子体采用碳化硼制备金刚石的方法,上述方法包括:预处理步骤:提供衬底,将固态碳化硼颗粒均匀放置在上述衬底周围,并放入微波等离子体反应室中;形核步骤:采用第一工艺参数组合产生等离子体轰击上述固态碳化硼颗粒,以使金刚石...
该专利属于上海征世科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海征世科技有限公司授权不得商用。
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