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一种金属丝辅助化学气相沉积制备碳纳米管阵列的方法技术
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文档序号:26361711
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本发明涉及一种金属丝辅助化学气相沉积制备碳纳米管阵列的方法,其特征在于以下过程:(1)在平面基底表面形成过渡金属催化剂/钝化层催化剂体系。(2)将附有过渡金属催化剂/钝化层的平面基底,置于真空体系中,以氢气为载气,以一定功率激发金属丝并向还...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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