下载一种金属丝辅助化学气相沉积制备碳纳米管阵列的方法的技术资料

文档序号:26361711

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本发明涉及一种金属丝辅助化学气相沉积制备碳纳米管阵列的方法,其特征在于以下过程:(1)在平面基底表面形成过渡金属催化剂/钝化层催化剂体系。(2)将附有过渡金属催化剂/钝化层的平面基底,置于真空体系中,以氢气为载气,以一定功率激发金属丝并向还...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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