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本发明提供了一种纳米针阵列及其制备方法和应用。本发明纳米针阵列制备方法包括的步骤有:在基底表面上形成待刻蚀基材膜层;在所述待刻蚀基材膜层表面形成用于刻蚀纳米针阵列的掩膜层;从所述掩膜层至所述基底的方向,对形成有所述掩膜层的所述待刻蚀基材膜层...该专利属于深圳市安瑞生物科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市安瑞生物科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种纳米针阵列及其制备方法和应用。本发明纳米针阵列制备方法包括的步骤有:在基底表面上形成待刻蚀基材膜层;在所述待刻蚀基材膜层表面形成用于刻蚀纳米针阵列的掩膜层;从所述掩膜层至所述基底的方向,对形成有所述掩膜层的所述待刻蚀基材膜层...